體積電阻率和表面電阻率
使用該電阻率校正系數,可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]計算體積電阻率和表面電阻率。
體積電阻率(單位:Ω·cm)是單位體積的電阻,根據領域的不同,表達方式也不同,
例如材料領域的體積電阻率、電子領域的比電阻、物理領域的電阻率等。
特定于(科學年表中列出)的物理量,用作許多材料電導率的絕對量度。
另一方面,表面電阻率(單位:Ω/□、Ω/sq.,發音為歐姆每平方)是單位面積的電阻,
也稱為方塊電阻或簡稱為表面電阻,用于涂層、薄膜等。它用于領域應特別注意表面電阻,
因為它可能與使用[公式3.5.2]轉換之前的電阻相混淆。
使用四點探針法的電阻率測量長期以來一直用于測量硅片,對于無限大(和無限薄)的樣品已確定值為 4.532。
我們針對矩形和圓形樣品確定了任意尺寸和測量位置的校正系數,并進行了實驗驗證。
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